张宝
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廖家轩
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王滨
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徐从玉
人工晶体学报
用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备6层钇(Y)掺杂浓度分别为1％/1.1％/1.2％/1.3％/1.4％/1.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-1.5YBST)和掺杂浓度分别为1％/1.3％/1.6％/1.9％/2.2％/2.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-2.5YBST),研究掺杂浓度梯度对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,两薄膜主要沿(110)晶面生长,为立方钙钛矿结构,比6层Y掺杂浓度均为1％的BST薄膜(YBST)的衍射峰强度及晶化减弱,但掺杂浓度梯度较大的1-2.5YBST对应的衍射强度和晶化较强.原子力显微镜(AFM)表明,1-2.5YBST具有更光滑的形貌.两薄膜比YBST具有高的电容、低的介电损耗、高的调谐率,而1-2.5YBST具有更优异的综合介电性能:零偏压下的电容为17.45 pF(介电常数127)、介电损耗为0.82％及最大调谐率为34.6％、优质因子为42.
关键词:
掺杂浓度梯度
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钛酸锶钡薄膜
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溶胶-凝胶法
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介电性能
