孙洪涛
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王小平
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王丽军
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孙义清
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王金烨
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王子风
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曹双迎
材料导报
化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于光滑金刚石明显偏高,这制约着其在摩擦学领域的应用.在综合分析近年来该领域研究的基础上,总结了CVD金刚石薄膜摩擦学性能的主要影响因素,并从降低其摩擦系数的角度出发,着重讨论了几种提高CVD金刚石薄膜摩擦性能的途径.
关键词:
金刚石薄膜
,
摩擦学性能
,
纳米金刚石薄膜
,
掺杂类金刚石薄膜
