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不同沉积温度下V掺杂的TiN薄膜的结构和性能

吴玲 , 赵高凌 , 段钢锋 , 汪建勋 , 韩高荣

功能材料

利用常压化学气相沉积法(APCVD)在玻璃基板上沉积制备了钒(V)掺杂的氮化钛(TiN)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结构、形貌、以及光电性能进行了分析.结果表明,薄膜呈典型的粒状结构.随着沉积温度的升高,薄膜的结晶强度不断增加,薄膜中V元素的比例增大,方块电阻逐渐降低.600℃时薄膜在近红外光区的反射率接近50%,在中远红外区的反射率达到93.74%,得到了兼具阳光控制功能和低辐射功能的V掺杂的TiN镀膜玻璃.

关键词: APCVD , 沉积温度 , 掺钒 , 氮化钛 , 结构和性能

掺钒二氧化钛中空微球的制备和光催化性能研究

贾进义 , 刘晶冰 , 张文熊 , 常琳 , 井琪

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00671

以聚苯乙烯微球为模板,钛酸四丁酯为前驱体制备了掺钒TiO2中空微球,并用FT-IR,SEM,TEM,XRD,UV-Vis等技术对样品进行了表征.研究结果表明,掺杂少量钒到体系中,TiO2微球形貌没有发生明显变化,得到壳层厚度约为20~30nm的TiO2中空微球.但钒的引入使得TiO2中空微球从锐钛矿相向金红石相转变.随着掺钒量的增加,TiO2中空微球吸收边向长波方向移动增强.光催化降解甲基橙溶液实验结果表明,掺杂1.0%钒的TiO2中空微球表现出更好的光催化性能.

关键词: 二氧化钛 , 掺钒 , 中空微球 , 光催化活性

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