陈真英
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聂鹏
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廖庆佳
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黄文华
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孟炎
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熊定康
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邓文
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.016
采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO(掺钛氧化锌)薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1 500℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区(400～760 nm)有较高的平均透过率91.16％,较低电阻率1.07×10-4Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.
关键词:
掺钛氧化锌薄膜
,
磁控溅射
,
保温时间
,
微结构
,
光电性能
