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医用X射线高速靶钼基体黑化涂层材料及其组成的研究

徐庆元 , 肖李鹏 , 熊国刚 , 李恩平

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2002.04.017

研究了不同涂层材料及组成对医用X射线管工作时的散热能力、管内真空度及涂层高温稳定性的影响,提出了一种最佳的涂层材料及组成.

关键词: 散热能力 , 真空度 , 反应磁控溅射 , 高温稳定性