平柏战
,
徐绍艳
,
洪斌
,
陈晓玲
,
张洁
,
张溪文
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.z1.044
迄今为止,国内现有的电磁屏蔽视窗不能很好兼具高透光率和高电磁波屏蔽效能.为此,本工作采用电子束蒸发法以ITO膜作为电磁波屏蔽层,探讨了纳米透明电磁屏蔽玻璃的制备及性能.为得到高屏蔽效能并保证较高的透光度,研究了膜厚、成膜速率、透光率、方电阻、屏蔽效能之间的关系,找到了最佳工艺参数.另一方面,通过对屏蔽膜进行原位高纯氧气氛下的后续热处理,改变ITO材料微结构,获得微纳晶团簇化显微结构,进一步降低方电阻,有效地提高了屏蔽效能.结果表明,厚度在500～1000nm之间,蒸镀速率为0.23nm,并经过400℃40min原位后处理可得到方电阻为5～3Ω/□,透光率76.3%～71.6%,屏蔽效能54.8～63.2dB的高性能ITO膜.另外,通过对玻璃基片采用预先热处理增强或将镀有屏蔽膜的玻璃和另外一块普通白玻进行复合制成夹层玻璃的方式,制得符合要求的特种安全玻璃.
关键词:
ITO
,
电磁屏蔽
,
蒸发速率
,
方电阻
,
透光率
李芝华
,
任冬燕
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.02.018
以五水硝酸铟和乙酰丙酮为原料,以无水氯化锡为掺杂剂,采用溶胶凝胶工艺,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.采用DTA-TG、XRD、sEM等测试手段对薄膜从凝胶态向结晶态转变过程及微区形貌特点进行了表征,并利用四探针电阻率仪考察了热处理温度、提拉速度、冷却速度、提拉次数等工艺条件对薄膜的导电性能的影响.结果表明:ITO干凝胶膜在600℃热处理温度下完全转化为结晶态,ITO薄膜具有由球形粒子堆积而成的多孔结构;热处理温度与冷却速度均会对ITO薄膜的导电率产生重要影响.
关键词:
ITO
,
溶胶凝胶
,
提拉法
,
方电阻
,
导电率
