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Sol-gel旋涂法制备纳米TiO2薄膜及其双亲性能研究

戴剑锋 , 李扬 , 王青 , 李维学 , 吴中立

材料导报

采用溶胶-凝胶法,利用旋涂技术在玻璃表面制备了膜厚小于100nm的纳米TiO2薄膜,以去离子水和苯作为水和油模型,利用XRD、AFM系统研究了煅烧温度、粒径及膜厚对薄膜双亲性的影响.结果表明:煅烧温度强烈影响TiO2薄膜的双亲性,煅烧温度为550℃时双亲性最佳;减小粒径和增加膜厚都有利于TiO2薄膜双亲性的提高,当膜厚大于85nm后双亲性趋于稳定.

关键词: TiO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 旋涂技术 , 双亲性 , 苯