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离子束溅射法制备碳氮薄膜及其结构表征

孙洪涛 , 许启明 , 洪向东

高分子材料科学与工程

采用离子束溅射沉积技术,对不同氮离子束能量情况下制备的氮化碳薄膜,进行了拉曼(Raman)和红外光谱(FT-IR)分析,并采用透射电子显微镜(TEM)分析其表面形貌,研究所制备薄膜的化学组成和键合结构.结果显示:随着氮离子束能量增大,氮碳薄膜的沉积速率减小,薄膜结构中sp2含量增大,薄膜有序度增加,另外薄膜结构的团簇尺寸大幅下降,团簇趋于均匀分布.

关键词: 氮化碳 , 离子束溅射 , 薄膜 , 晶体表征

氮化碳晶体的研究进展

马志斌

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2006.03.016

介绍了氮化碳晶体的合成与表征研究进展,分析了氮化碳晶体合成中存在的主要困难.分析表明:现有的研究结果还没有给出氮化碳晶体合成的确信证据.高温高压法的主要困难在于反应前驱体的选择与制备以及在高压过程中对热力学参数进行有效地控制;等离子体化学气相沉积中,基体原子,主要是硅原子对氮化碳晶体的合成有很大的影响,但目前缺少这方面的系统研究.反应溅射合成时需要解决的困难是在保持较低基片温度的同时如何提高反应气氛中的N原子含量,寻求高比例的sp3C-N单键的合成条件.电化学方法利用了前驱体中的碳氮单键,能够有效地降低反应能垒和沉积温度,需要解决的问题是如何促进合成产物的晶化和减少副产物.综合运用多种合成技术如在较低的基片温度下,在氮等离子体中通过溅射含有碳氮单键的有机前驱体而引入大量的碳氮单键,控制硅原子在氮化碳晶体生长中的影响程度将是今后氮化碳晶体合成研究的有效途径.

关键词: 氮化碳 , 晶体合成 , 晶体表征

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