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董丽芳 , 尚勇 , 王志军
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.036
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟.研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法.本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.
关键词: 金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 氢原子发射谱线 , 最佳成膜条件
