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悬空纳米间隔电极对的制备并应用于单分子电学性质测量

杨扬 , 田景华 , 罗仲梓 , 吴孙桃 , 田中群

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.071

将普通光刻技术和电化学技术相结合,在微芯片上制备得到了机械可控断裂结法(MCBJ)所需的悬空纳米间隔金属电极对,并分别用热氧化二氧化硅和聚酰亚胺(PI)作为牺牲层使得电极对悬空,明显提高了可控断裂的实验成功率,并延长了微芯片使用寿命.利用分子自组装和MCBJ方法成功构筑了金属/分子/金属结,并实施了对巯基苯胺(BDT)单分子的电学性质测量,得到了BDF的电导值和I-V特性曲线.

关键词: 分子电子学 , 机械可控裂结法 , 单分子电导 , 牺牲层 , 微加工

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