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多弧离子镀制备硬质梯度薄膜技术

晏鲜梅 , 熊惟皓 , 郑立允 , 周风云

材料导报

介绍了多弧离子镀在金属陶瓷表面沉积硬质梯度薄膜的技术,用X射线衍射法对表面形成的薄膜进行了物相分析,并对材料的金相显微组织、显微硬度、抗弯强度以及膜与基体的结合力进行了测试和分析.结果表明:多弧离子镀处理能在金属陶瓷表面形成硬质梯度薄膜,膜与基体的结合力良好,表面硬度大大提高,而材料的抗弯强度却没有发生变化.

关键词: 多弧离子镀 , 金属陶瓷 , 梯度薄膜 , TiN

氮化铬梯度膜的制备和电化学性能研究

周庆刚 , 白新德 , 陈小文 , 凌云汉 , 彭德全

稀有金属材料与工程

在H13钢基体上制备了几种成分的CrNx双层膜和梯度膜.使用X光电子能谱(XPS)分析了膜层的成分,使用X射线衍射仪(XRD)分析膜层的主要相结构;同时检测了膜层的硬度与工艺参数的关系.系统地研究了膜层的动电位极化曲线,梯度膜能够明显降低膜层的腐蚀电流密度.使用扫描电子显微镜(SEM),研究了膜层显微结构和性能之间的关系,并提出了双层膜和梯度膜的结构模型.膜层的主要成分、结构都随着氮气分压而改变.随着氮气分压从0.05 Pa提高到2 Pa,CrNx膜层中的N/Cr原子比从0.08提高到0.67.氮气分压0.05 Pa时,双层膜的成分包括Cr(bcc)和Cr2N(hex),在分压达到2 Pa时,膜层主要成分为CrN(fcc),在梯度膜中有一个CrN(220)择优取向.相对于CrN/Cr/H13双层膜,梯度薄膜的抗腐蚀性能有明显提高.在双层膜上有较多较深的微孔,而在梯度膜表面比较鲜见.

关键词: 梯度薄膜 , 氮化铬 , 电化学性能 , H13钢

富钛梯度(Ba0.6Sr0.4)TiO3薄膜的介电调谐性能研究

孙小华 , 付建科 , 邹隽 , 王燕 , 赵兴中

功能材料

采用溶胶凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了富钛(Ba0.6Sr0.4)TiO3(BST)薄膜和富钛梯度薄膜.利用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析测定了BST的微结构和薄膜的表面形貌,研究了富钛含量和梯度结构对BST介电调谐性能的影响.结果表明富钛薄膜中析出了TiO2相,薄膜的介电常数、损耗和调谐量随着钙钛矿结构(ABO3)中A/B的增加而增加;当A/B为0.68时,有最小的介电损耗0.017;当A/B为1时,有最高的介电常数和调谐量,分别为592%和43.72%.而富钛梯度薄膜因TiO2的析出而丧失晶格不匹配应力的影响,在介电调谐性能上并没有表现出梯度薄膜的综合优异性能.

关键词: BST , 溶胶凝胶 , 梯度薄膜 , 介电调谐性能

氮化铁梯度薄膜的制备

姜恩永 , 刘晖 , 刘明升 , 林川 , 孙多春

材料研究学报

用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2

关键词: 对向靶溅射 , null , null , null

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