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氮化铝薄膜光学常数和结合力测试分析

杨清斗 , 刘文 , 王质武 , 卫静婷

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2007.05.019

用直流磁控溅射方法在硅衬底上制备氮化铝薄膜.X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构和成分;椭圆偏振仪测量并拟合获得AIN薄膜在250~1000 nm波长范围内的折射率和消光系数曲线;利用大荷载划痕仪的声发射谱检测方法并结合不同压力下的划痕显微形貌观察得到薄膜临界载荷(结合力)Lc为29.45N.

关键词: 氮化铝薄膜 , 椭圆偏振仪 , 消光系数 , 划痕仪 , 结合力

聚乙二醇刷型聚合物在聚砜膜上的光化接枝

梁博 , 孙璐 , 孙树东 , 乐以伦

高分子材料科学与工程

对在聚砜薄膜上接枝的聚乙二醇的形貌做了大量研究,探讨了在透明平整的无孔聚砜薄膜上接枝刷型聚乙二醇的条件.首先制作出了透明且光滑平整的元孔聚矾薄膜,然后以对叠氮苯甲酸为光敏剂,在λ=365nm紫外先的辐照下,用二步法将聚乙二醇接枝在聚砜膜表面,通过X射线-光电子能谱分析、原子力学正微镜及椭圆偏振仪等测试手段,对接枝前后聚砜膜表面形貌进行了表征,证明接枝的聚乙二醇层呈刷状.

关键词: 聚砜薄膜 , 聚乙二醇刷 , 接枝 , 椭圆偏振仪

掺锡氧化锌纳米阵列的制备及其结构和光学特性的研究?

王敏 , 隋成华 , 吕斌 , 李芸

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.增刊(Ⅰ).010

在旋涂法制成的种子层基底上,用水热法生长氧化锌纳米阵列(ZNAs)和掺锡氧化锌纳米阵列(ZNAs∶Sn).为了研究掺锡对氧化锌纳米阵列透光性的影响,用 X 射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射谱和椭圆偏振仪(SE)对样品进行了表征,并结合等效介质模型(EMA)理论模拟样品光学常数,根据太阳能光谱 AM1.5计算透过光的总功率.XRD 分析表明纳米棒垂直于基底沿(002)晶向生长,SEM 和椭圆偏振仪表明样品表面形貌良好,制得的纳米棒直径约300 nm,长度约1.6μm.透射谱表明 ZNAs 掺锡之后,在300~800nm 波段透过率增大.根据 AM1.5计算获得在样品厚度相同的情况下,掺杂5%的 ZNAs∶Sn透过光总功率是 ZNAs 的1.6倍.

关键词: 椭圆偏振仪 , 半导体 , 纳米 , 光学特性

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