叶剑
,
曹春斌
功能材料
在硅片和石英上利用射频溅射法沉积了TiO2薄膜,并分别在空气中进行了退火处理。利用椭偏光谱仪对硅片上薄膜进行了椭偏测试,利用紫外-可见分光光度计对石英上薄膜进行了透射光谱测试。利用解谱软件对椭偏谱和透射谱进行了建模解谱,获得了不同基片上薄膜在不同退火温度下的折射指数和消光系数,发现和TiO2块材的光学常数也有明显的区别。通过计算得到了系列薄膜的光学带隙,带隙值范围从3.35～3.88eV,可以为薄膜态TiO2体系的光学应用、设计和相关理论研究提供一定的依据。
关键词:
射频磁控溅射
,
TiO2薄膜
,
椭圆偏振技术
,
光学性能
张胜涛
,
薛茗月
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.01.023
根据最近文献,对椭圆偏振技术应用于研究电化学体系和生物化学现象的现状进行了综述,包括基础理论发展和各种试验应用,进一步评述了掠射式椭圆偏振技术的应用进展,显示出椭圆偏振技术是一种高效、简便的现场检测手段,具有广阔的发展前景.引用文献39篇.
关键词:
椭圆偏振技术
,
掠射式椭圆偏振技术
,
应用
,
电极表面
,
电化学
