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Bi2Te3热电薄膜的电化学原子层外延制备

侯杰 , 杨君友 , 朱文 , 郜鲜辉

功能材料

采用电化学原子层外延法(ECALE)在Au电极上成功地制备了Bi2Te3化合物热电薄膜.通过循环伏安扫描研究Te和Bi在Au衬底上的电化学特性,使用自动沉积系统交替欠电位沉积Te、Bi原子层200个循环获得沉积物.XRD、EDX和FESEM测试结果表明循环沉积200层后得到的沉积物Bi和Te的化学计量比为2:3,且是Bi2Te3薄膜化合物,而非单质Bi和Te的简单混合;薄膜均匀、致密、平整且可重复性好,以(015)为最优取向外延生长的.

关键词: 电化学原子层外延 , 欠电位 , Bi2Te3 , 热电材料 , 薄膜

电化学原子层外延法制备碲化铋薄膜

朱文 , 杨君友 , 郜鲜辉 , 侯杰 , 鲍思前 , 樊希安

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2005.11.002

研究了冷压银衬底上铋和碲的欠电位沉积薄层电化学行为.分析了最初铋欠电位沉积在碲覆盖的冷压银表面和碲欠电位沉积在铋覆盖的冷压银表面的欠电位转移伏安特性.结果证实,这种转移特性符合欠电位动力学机制.采用一个自动式电化学薄层流沉积系统,通过交替沉积碲元素和铋元素制备了碲化铋薄膜.XRD测试显示,沉积物是Bi2Te3.EDX定量分析给出铋与碲的元素化学计量比是2:3,与XRD结果一致.沉积物电子探针显微分析显示一个网格结构,可能与冷压银衬底的表面缺陷及银和Bi2Te3的晶格错配有关.

关键词: 电化学原子层外延 , 欠电位 , 碲化铋 , 热电薄膜

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