朱丹阳
,
金锐
,
吴作林
,
韩宝春
,
杨正华
,
张春华
应用化学
doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2017.03.160195
选用2,2'-双三氟甲基4,4'-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI).通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的,探讨不同亚胺化程度的PI胶的显影性能.结果表明,当n(2-甲基吡啶)∶n(乙酸酐)=1∶5时,所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优.
关键词:
正性光敏聚酰亚胺
,
化学亚胺化
,
溶解性
,
光刻
