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基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

周晗 , 周福增 , 伏开虎 , 黄杰 , 陈琳 , 廖斌 , 张旭

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.S1.79

对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断。为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响，采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中产生的TiC等离子体进行诊断。利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算，并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究。结果表明，等离子体电离度较高，约为0.8左右且随气流量的变化不大；电子温度和电子密度分别在1×104～2×104 K和1023～1024 m?3范围内变化，且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势；Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大，表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化。

关键词: 原子发射光谱 , 磁过滤阴极弧 , 气体流速Saha-Boltzmann方法 , 等离子体诊断