王军
,
成建波
,
陈文彬
,
杨刚
,
蒋亚东
,
蒋泉
,
杨健君
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.02.029
采用直流磁控溅射方法在室温下玻璃基板上制备ITO(Indium tin oxide)薄膜,并在真空中不同温度(100℃～400℃)下退火处理.研究了退火对薄膜表面形貌、电光特性的影响.XRD测试发现薄膜在200℃退火后结晶,优选晶向为(222).随退火温度升高,方块电阻迅速下降,表面更加平整,薄膜在可见光范围平均透过率提高到85%.
关键词:
薄膜
,
氧化铟锡(ITO)
,
退火
,
直流磁控溅射
,
方阻
朱归胜
,
徐华蕊
,
廖春图
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.02.036
以金属铟和锡为原料,子碱性环境240.C水热合成12h并经500.C煅烧2h得到了粒径为70±10nm,比表面积为11 m2/g的高纯氧化铟锡(ITO)粉末.由SEM、激光粒度测试仪和BET三种方法分析得到的粉末平均粒径相吻合,证明制备的粉末是单分散状态的.研究还发现,提高铟锡初始浓度和氢氧化钠过量浓度均有利于小粒径单分散ITO粉末的制备,但过高的氢氧化钠过量浓度会使粉末出现团聚.
关键词:
氧化铟锡(ITO)
,
纳米粉末
,
水热
,
单分散
翟莲娜
,
周化岚
,
李小慧
,
顾哲明
,
陈亮
腐蚀科学与防护技术
研制了一种可用于氧化铟锡(ITO)透明电极的刻蚀液,研究了其刻蚀效果,并推断刻蚀机理.选用不同pH值的FeCl3水溶液作为刻蚀功能成分,将PEG10000作为介质,以气相SiO2为触变剂制备刻蚀液,用丝网印刷法对ITO电极进行刻蚀实验,研究了不同刻蚀条件对刻蚀效果及ITO电极体积电阻率的影响.结果表明,pH值为1.67时,于80℃,90 min后ITO薄膜的刻蚀效果最优.通过EDS表征ITO电极元素的变化,用原子力显微镜(AFM)观察电极微观形貌的变化.
关键词:
氧化铟锡(ITO)
,
湿法刻蚀
,
丝网印刷
宋伟明
,
胡奇林
,
房俊卓
,
倪刚
,
罗民
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2008.04.019
以In和SnCl4·5H2O为原料,聚乙二醇(平均分子量20000)为分割剂,控制溶胶-凝胶过程,在水溶液体系中应用无机物形成了稳定的溶胶凝胶.pH值易于控制,通过溶胶渗析(纯化去除C1-)、凝胶转化.得到了稳定的m(In):m(Sn)=9:1铟锡混合溶胶.将转化后的溶胶在60℃真空干燥8-10 h,得到干凝胶.将铟、锡氢氧化物水合凝胶在500℃煅烧,得到纳米ITO粉体.用TG、XRD、TEM、BET等检测技术对工艺过程和氧化铟锡的形貌、粒径进行了表征和分析.结果表明,当煅烧温度在500℃时,In,Sn(OH),水合凝胶已完全转变成纯立方相In2O3,Sn4+离子镶嵌在In2O3的晶格中,SnO2的掺杂并未使粉末形成新的物相.最终得到了单相立方晶系的高纯氧化铟锡(ITO)粉末,颗粒呈球形,比表面积为50 m2/g,粒径尺寸在(15±5)nm.制备方法简化了工艺过程,反应条件温和,有潜在的工业应用价值.
关键词:
氧化铟锡(ITO)
,
PEG辅助的溶胶．凝胶法
,
纳米粉末
