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氧等离子体对金刚石膜的刻蚀研究

吕宪义 , 金曾孙 , 郝世强 , 彭鸿雁 , 曹庆忠

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2003.03.005

用微波放电法产生氧等离子体,通过改变系统中氧的浓度和金刚石膜的温度研究了氧等离子体对CVD多晶金刚石膜刻蚀的影响.实验结果表明:随着氧浓度的增加和金刚石膜温度的提高,刻蚀作用加剧;而在较低的氧浓度和金刚石膜温度条件下金刚石膜的晶界处首先被刻蚀,说明金刚石膜的境界处含有较多的非金刚石碳相.并且从等离子体对(100)和(111)面的刻蚀现象可知(100)面的生长是二维生长,(111)面的生长是岛状生长.

关键词: 氧等离子体 , 金刚石膜 , 刻蚀 , 结构特性

PDMS氧等离子体长效活性表面处理及与Si的键合

薛向尧 , 张平 , 黎海文 , 刘永顺 , 吴一辉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.005

为了实现室温、常压下聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅的键合,本文利用氧等离子体分别对PDMS、硅进行表面改性处理.考察了等离子体射频电源功率、处理时间、氧气流量对PDMS-硅键合强度的影响.通过优化工艺适当降低PDMS表面被氧化的程度,可使PDMS活性表面的持续时间延长至45分钟,实现了PDMS-硅在室温常压下的永久性键合.通过X-射线光电子能谱(XPS)对改性后PDMS表面化学组分变化的分析,可推断出PDMS表面Si-OH的稳定性是影响键合强度的主要因素.

关键词: 氧等离子体 , 聚二甲基硅氧烷(PDMS) , 键合 , XPS

碳纤维经低温氧等离子体和POSS涂层处理后的表面特性

申雄刚 , 肇研 , 罗云峰

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2011.z1.040

采用低温氧等离子体对CCF300碳纤维进行了不同时间的处理,并在此基础上用含乙烯基的笼形倍半硅氧烷(POSs)对纤维表面进行了涂层处理,并进一步对涂层做了氧等离子体活化处理,得到了具有高粗糙度和高化学活性的碳纤维表面.采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对不同处理阶段的碳纤维表面形貌和粗糙度进行了对比和研究,处理前后纤维表面的化学构成和活性基团的相对含量则采用X射线光电子能谱(XPS)进行了研究.结果表明,在设定的条件下在等离子体处理5min的基础上进行POSS涂层处理得到的涂层效果最佳,在此基础上再进行等离子体活化处理可以得到高表面粗糙度和高含氧活性基团的表面,表面氧碳值(O/C)可由0.30提高至0.51,从而使得碳纤维表面活性得到大幅度提高.

关键词: 碳纤维 , 氧等离子体 , POSS , 粗糙度 , 表面活性

聚四氟乙烯射频等离子体表面改性研究

刘际伟 , 高晓敏 , 冯敏

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.01.025

采用氧等离子体对PTFE粘接件进行处理,测试了压剪粘接件和拉伸粘接件的粘接强度,分析了氧等离子体处理前后PTFE的接触角变化情况,同时,采用了AFM对PTFE进行了表面形貌的观察.

关键词: 氧等离子体 , PTFE , AFM , 接触角

氧等离子体对碳纳米管改性的分子模拟研究

朱丽丽 , 黄碧纯 , 阮东亮 , 叶代启

材料导报

采用密度泛函理论研究了氧等离子体改性前后的(8,0)碳纳米管的性能,比较了改性前后结合能、能带结构及态密度之间的差异,结果表明改性后碳管的结合能变小,其表面的分散性提高,从而可以稳定存在.另外,尽管碳管的能隙Eg非常小,但其价带顶和导带底均未穿过费米能级,验证了(8,0)碳纳米管是半导体管的理论.改性后碳纳米管的几何结构受到羟基和羧基的影响很大,横截面C-C间距增大,比表面积增加;同时,羟基和羧基使得费米能Ef以及费米能级上的态密度明显增大,而且羧基的作用更显著,这表明氧等离子体增强了碳纳米管的化学活性,是一种有效的改性方法.

关键词: 碳纳米管 , 密度泛函理论 , 氧等离子体 , 能带结构 , 态密度

氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响

顾广瑞 , 金逢锡 , 李全军 , 盖同祥 , 李英爱 , 赵永年

功能材料

利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,红外光谱测试表明,所有样品为六角氮化硼(h-BN)结构.经过氢、氧等离子体处理之后,在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.实验结果表明,经过氢等离子体处理后BN薄膜的场发射开启电场明显降低,发射电流明显升高;而氧等离子体处理前后对h-BN薄膜的场发射特性影响不大,只是发射电流略有降低.不同样品的Fowler-Nordheim(F-N)曲线均为直线,表明电子发射是通过隧穿BN表面势垒发射到真空.

关键词: 氮化硼薄膜 , 场发射 , 氢等离子体 , 氧等离子体

氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响

邢文娟 , 汪建华 , 王传新 , 皮华滨 , 余学超

人工晶体学报

本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.

关键词: 氧等离子体 , 金刚石薄膜 , 硬质合金刀具 , 附着性能

聚羟基烷酸酯薄膜的亲水性改性

卢玲 , 王迎军 , 郑裕东 , 吴刚

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.01.005

分别采用氧等离子体方法和碱性条件下水解的方法对新型生物高分子3-羟基丁酸和3-羟基戊酸共聚物(PHBV)薄膜进行改性处理,以改善其亲水性和细胞亲和性. 采用XPS考察了改性前后薄膜表面的组成、元素化学状态,用SEM观察了表面形貌变化,并考察了犬骨髓基质细胞在其上的生长情况. 结果表明,经等离子体和水解改性后PHBV薄膜表面的氧含量分别增加了5.3%和2.5%,水接触角分别减小了36°和16.7°,表明材料表面的亲水性增强. 在氧等离子体处理后分别有1.5%和3.5%的C-O和C-C发生断裂,生成亲水的羧基,而在碱性溶液中则发生酯键的水解. 改性后的PHBV薄膜更有利于细胞的生长,尤以采用氧等离子体处理的效果更为明显. 研究结果为进一步的表面改性修饰以及制备细胞亲和性好的PHBV三维支架打下良好基础.

关键词: PHBV , 氧等离子体 , 水解 , 亲水性

渗透汽化膜表面结构对分离过程的影响

张可达 , 徐冬梅 , 张雪梅 , 程珊华 , 宁兆元 , 葛水兵

高分子材料科学与工程

用低温氧等离子体处理聚乙烯膜,被处理的膜通过红外、表面接触角、电子扫描显微镜、元素分析等手段证明在其表面形成了多量的羟基、羰基和羧基等含氧基团.当将这种处理膜的处理面对着原料液(UPE)、处理面对着低压侧(DPE)及原始膜(PE)分别用来渗透汽化分离乙醇-水混合物,发现PE膜为优先透醇膜.UPE渗透汽化产物的醇浓度下降,透量增加,并且透过速率对原料液浓度曲线呈反S形.DPE膜则完全变成了优先透水膜,并且透过速率明显下降,说明渗透汽化膜表面的结构及组成对渗透汽化过程予以重大的影响,膜的上表面主要发生溶解,下表面则对被分离物予以强有力的扩散控制.

关键词: 氧等离子体 , 聚乙烯 , 渗透汽化膜

氧等离子体离子注入Ti6A14V表面强化研究

辛国强 , 杨学勤 , 董楠 , 田修波 , 杨士勤

稀有金属材料与工程

采用PⅢ对Ti6A14V合金进行表面处理,温度控制在300~400℃之间,利用小掠射角X射线衍射技术(GXRD)、扫描电镜(SEM)研究不同工艺条件下的相结构和表面形貌,并且测量处理后试样的显微硬度、摩擦磨损性能.结果表明:试样表面形成了金红石相,且试样表面变得粗糙;在390℃处理后的试样硬度提高27%,抗磨损性能提高.

关键词: 等离子体浸没离子注入(PⅢ) , Ti6A14V , 氧等离子体

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