王必本
,
张兵
,
郑坤
,
郝伟
,
王国菊
,
王波
,
朱满康
,
严辉
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.022
利用等离子体增强化学气相沉积系统,用CH4、NH3和H2为反应气体,在沉积有100nm厚Ta过渡层和60nm厚NiFe催化剂层的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构.结果表明当氨气浓度为20%、40%和60%时,碳纳米管的平均长度分别为3.88μm、4.52μm和6.79μm,而其平均直径变化不大,均在240nm左右.最后,分析讨论了氨气浓度对碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
碳纳米管
,
氨气浓度
,
生长速率
