许涛
,
许燕萍
,
曹永革
,
兰玉成
,
李建业
,
张王月
,
杨志
,
陈小龙
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.02.009
利用氨热法合成了一种新型致密材料—氮化镓纳米固体。该纳米固体呈淡黄色，半透明，其组成颗粒的平均粒径为12nm，为六方纤锌矿型结构。与氮化镓单晶相比，在该纳米固体的激光拉曼光谱上观察到了由于纳米尺寸效应而引起的E2(high)声子带的红移、带的宽化和新的声子带(656cm-1和714cm-1)的出现
关键词:
氮化镓
,
纳米固体
,
氨热法
,
激光拉曼光谱
姜燕妮
,
陈启生
工程热物理学报
氮化镓晶体是继单晶硅之后的一种新型的半导体材料.本文利用有限体积法模拟了氨热法生长氮化镓晶体中流场的瞬态特性,研究了隔板开孔10%时流场结构、温度场、浓度场.发现对于隔板开孔率(10%)的情形,中心开孔及边缘间隙的平均速度表现为振荡的特性,中心开孔速度大多是正的,边缘开孔大多是负的.大的温度梯度发生在在高压釜壁面与液体的交界处与隔板周围.物质由多孔介质区向生长区输运.
关键词:
氨热法
,
氮化镓
,
开孔率
,
流场
,
平均流速
周海涛
,
李东平
,
何小玲
,
张昌龙
硅酸盐通报
由于大尺寸氮化镓单晶难以获得,只能用异质衬底来制作氮化镓器件,因此现在的氮化镓基器件的性能指标还远低于其理论值.氢化物外延法、高压熔体法、助熔剂法和氨热法等许多方法已经用做生长氮化镓大尺寸单晶.其中,氨热法易于实现尺寸扩大,有批量化生产低成本氮化镓晶片的潜力.目前有两个问题仍有待解决.首先是设备,如何增大高压釜口径为液氨溶液提供可靠的设备;第二个是生长工艺,如何以较低的成本得到大面积,低缺陷密度的氮化镓.本文简单综述了氨热法生长大尺寸氮化镓晶体进展.主要内容是关注氨热法的设备和生长工艺.最后探讨了氨热法合成氮化镓单晶的发展前景.
关键词:
氨热法
,
氮化镓
,
工艺
,
设备
何小玲
,
张昌龙
,
周海涛
,
左艳彬
,
覃世杰
,
王金亮
人工晶体学报
GaN作为性能最为优异的第三代半导体材料,其高质量的衬底材料的研发是目前乃至近5年的研究热点,而最好的衬底材料即为GaN体单晶.在为数不多的GaN体单晶的几种生长方法中,氨热法被普遍认为是生长GaN体单晶的一种很有前途的方法.本文主要论述了在不同矿化剂生长条件下GaN晶体的氨热法生长进展,指出了存在的问题,并给出了一些解决办法.
关键词:
氮化镓
,
氨热法
,
进展
姜燕妮
,
陈启生
,
李炜
,
颜君毅
工程热物理学报
本文利用基于非正交网格的二阶精度有限体积法,对氨热法生长过程中温度场和流场进行了模拟,其中隔板开孔率分别为10%(中心开孔5%,侧壁与隔板边缘开孔5%)和20%(中心开孔10%,侧壁与隔板边缘开孔10%).通过对流场和温度场的分析,了解了高压釜内部营养素的输运及溶液结晶的本质.结果显示在釜底的多孔介质层流动较弱,在流体层流动较强.在多孔介质层热量的输运主要通过热传导;在流体层中,流体与原料的分界处以及流体和高压釜的侧壁出现了大的温度梯度.
关键词:
氨热法
,
氮化镓
,
温度场和流场
