刘超英
,
陈玮
,
徐志伟
,
付静
,
左岩
,
马眷荣
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.011
采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3％(质量分数)Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌(ZnO ∶ Al,AZO)透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析.研究了溅射过程中不同氩气压强(0．3~1．2 Pa)对薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD 测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c 轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0．3 Pa时,AZO 薄膜的电阻率最低为6．72×10－4Ω?cm.所有样品在可见光波段的平均透过率超过85％.
关键词:
氩气压力
,
射频磁控溅射
,
AZO 薄膜
,
光电性能
侯爱东
,
肖国庆
,
张钟威
,
付彦丽
硅酸盐通报
用ZrO2,Al,B2O3微粉为原料,在0.1,0.5,1.0,1.5,2.0 MPa的氩气压力下,通过自蔓延高温方法合成ZrB2-Al2O3复合粉体.研究了氩气压力对燃烧参数(燃烧前后试样的质量变化△m、轴向高度变化△h、实际燃烧温度Tr)的影响.通过X射线衍射和扫描电镜等分析测试手段,ZrB2-Al2O3复合粉体的相组成及微观结构分别用XRD和SEM进行表征.结果表明:氩气压力为1.5 MPa时,燃烧反应前后试样的质量变化△m和轴向高度变化△h最小,实际燃烧温度最高;燃烧产物中只有ZrB2和Al2O3;ZrB2在Al2O3基中的分散最均匀.
关键词:
ZrB2-Al2O3复合粉体
,
氩气压力
,
自蔓延高温合成
