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利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究,重点观察了微观缺陷处的腐蚀状况.结果表明,在TaN薄膜的腐蚀早期阶段,腐蚀并非从缺陷处开始,反而在有坑的位置形成更厚的钝化膜,表现出较好的整平性,从而缓解了腐蚀进程.

关键词: 氮化钽薄膜 , ECAFM , 腐蚀 , 原位

网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.02.014

介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.010

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

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氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究

网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

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