陈金民
,
黄志良
,
刘羽
,
王升高
钢铁钒钛
doi:10.3969/j.issn.1004-7638.2007.02.002
选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了氮杂二氧化钒(VO2-xNy)样品.通过XRD表征了样品的成分,结果表明:合成的样品为氮杂二氧化钒,样品的结晶度较低,颗粒尺寸较小;相变温度测试结果表明:通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度,目前最低可以降低至42 ℃.
关键词:
微波等离子体增强
,
氮杂VO2-xNy
,
薄膜
,
相变温度
