吕小莉
,
冯长杰
,
钟小荣
,
万小欢
,
杜楠
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.03.021
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,利用SEM和XRD考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨电镀工艺的影响,并探讨了水平震荡频率和玻璃球数量对镀层微观结构的影响机理.实验结果表明:固定玻璃球数量为80个,震荡频率为2.5～4.2 Hz时,所得镀层的晶粒尺寸随着震荡频率的增加而显著降低;固定水平震荡频率为4.2 Hz,玻璃球数量为40～120个时,随着玻璃球数量的增加,所得镀层的晶粒尺寸先降低后略有增大,但仍明显小于传统镀层;水平震荡机械研磨电镀铜层具有(111)择优取向,但择优取向程度受水平震荡条件影响.
关键词:
水平震荡
,
机械研磨
,
电沉积
,
镀铜
,
镀层结构
冯长杰
,
杜楠
,
王春霞
,
何业东
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2011.06.017
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,玻璃球以不同频率在试样表面滚动-滑动形成机械研磨(MA).利用SEM,XRD和AutoLab考察震荡频率对机械研磨增强镀层(MAEE)的微观结构、晶粒尺寸、沉积速率、孔隙率和在3.5%NaCl(质量分数)溶液中耐蚀性的影响.结果表明,与传统镀层(TEP)相比,水平震荡MA可显著减小TEP镀层的晶粒尺寸和孔隙率,显著提高TEP镀层的耐蚀性.在1.0～4.0Hz范围内,改变频率对MAEE镀层晶粒细化的影响不明显,当震荡频率为2.0Hz和3.0Hz时,由于MA的不均匀性,使MAEE镀层的性能下降,但仍明显优于TCP镀层.讨论了水平震荡频率对MAEE微观结构的影响机理.
关键词:
机械研磨
,
电沉积
,
铜镀层
,
水平震荡
,
结构
,
耐蚀性
