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蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

鲜晓斌 , 吕学超 , 伏晓国 , 任大鹏

材料导报

用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。

关键词: 沉积真空 , 铀薄膜 , 组成 , 结构