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液相外延生长Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3膜及生长机理研究

曾新华 , 秦奋 , 姚忻 , 徐家跃 , 吴宪君

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.016

采用PbO作助溶剂,我们在钛酸锶(STO)衬底上用液相外延方法生长了一层具有特定取向的PZNT岛状外延膜,并通过引入c轴取向的PZT过渡层后,使原来的岛状三维生长转变为二维生长,显著改善了外延膜的质量,获得了几个微米厚、较完整的PZNT膜.实验证明:在氧化镁和铝酸镧(001)基片以及STO(110)/(111)衬底上,PZNT晶粒以自发形核为主,外延生长膜主要呈现岛状形貌;取STO(001)衬底,膜颗粒取向一致性好,并可获得完整的PZNT膜.

关键词: PZNT , 厚膜 , 液相外延 , 晶体生长

HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生

黄为民 , 王亚敏 , 魏彦锋

工程热物理学报

液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率.本文通过实验测量了同-HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹.数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响.

关键词: 液相外延 , HgCdTe , 波纹 , 分层流 , 内波

显微成像荧光屏用无机闪烁单晶薄膜的研究进展

庞辉勇 , 赵广军 , 介明印 , 曾雄辉 , 夏长泰 , 周圣明 , 徐军

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.02.002

随着第三代同步辐射源的出现,由荧光屏和CCD耦合组成的、具有亚微米级空间分辨率、快速在线成像功能的探测器在医疗、安检、工业、科研等领域将会得到广泛应用.本文主要综述了成像荧光屏用材料的概况和发展趋势,重点阐述了闪烁单晶薄膜的研究及发展情况.

关键词: 亚微米成像 , 荧光屏 , 无机闪烁单晶薄膜 , 液相外延

在Sr2+:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究

刘军芳 , 徐军 , 姚武

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.06.028

采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr2+:α-BBO(001)衬底上生长了质量优异的β-BBO薄膜,对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析,结果表明,采用Sr2+:α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值.同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比,Sr2+:α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点,表明Sr2+:α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.

关键词: Sr2+:α-BBO衬底 , β-BBO薄膜 , 液相外延 , 脉冲激光沉积 , 气相传输平衡

YBiIG/YbIG复合稀土铁石榴石薄膜的制备及性能研究

李永安 , 张溪文 , 韩高荣

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.06.015

采用液相外延方法在GGG基片上生长了YBilG/YbIG双层薄膜复合材料.XRD、SEM测试表明,薄膜定向生长明显,结构单一:法拉第旋角测试分析表明,与单层YBiIG薄膜相比,该双膜复合材料具有较小的法拉第温度系数.这意味着利用法拉第温度系数相反的两种稀土铁石榴薄膜复合后产生的补偿效应,可以得到温度系数稳定、应用前景良好的磁光薄膜材料.

关键词: 复合稀土石榴石薄膜 , 液相外延 , 法拉第旋转温度系数

N扩散对熔液法生长GaN晶体外延速率的影响

王斌 , 赵志德 , 隋妍萍 , 徐伟 , 于广辉

功能材料与器件学报

使用钠熔液液相外延在GaN/蓝宝石衬底上生长出GaN晶体;研究晶体生长速度与生长压力的关系,使用DCXRD对样品进行表征,发现在氮气压力为3.8MPa,温度为800℃的条件下,外延速度较快且结晶质量较高;研究还发现GaN晶体外延层的生长速率不但与溶液中N的输运有关,还与熔液中N的浓度有关.

关键词: 氮化镓 , 液相外延 , XRD

β-BBO薄膜的液相外延生长

刘军芳 , 周国清 , 何晓明 , 徐军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.05.006

采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.应用X射线粉末衍射(XRD)、分光光谱仪和原子力显微镜(AFM)对外延膜进行了分析测试.结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(001)面,在1μm×1μm的面积内,外延膜的表面粗糙度为2.279nm,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190nm,但外延膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd: YAG激光器观察了β-BBO外延膜的倍频效应.

关键词: 液相外延 , β-BBO薄膜 , Sr2+:α-BBO衬底

3C-SiC的液相外延生长及其结构的保持与分析

封先锋 , 陈治明 , 马剑平 , 蒲红斌 , 李留臣

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.015

3C-SiC因其优越的物理和电学性能是制造耐高温、大功率、高频率器件的理想材料.本文报道了采用液相外延法从硅熔体中生长3C-SiC及抑制其相变的研究进展.采用X射线衍射、透射电镜、Raman散射等检测手段对样品进行结构分析,结果表明所制备的样品为3C-SiC单晶体.

关键词: 碳化硅 , 液相外延 ,

GaAs在Bi中的溶解特性及相平衡

冯水富 , 周继程

金属学报

用改进的半导体材料生长中的液相外延设备测定了GaAs在Bi中溶解度。根据测定结果,获得了富Bi侧的Bi-GaAs二元平衡图。同时发现,在所研究的温度范围内相同的溶解时间内的溶解量与饱和溶解量之比与温度的关系也各不相同。这一现象似可认为是某些金属间溶解过程中的普遍特性。

关键词: 液相外延 , solubility , phase diagram

液相外延法制备β-BBO薄膜

刘军芳 , 徐军 , 姚武

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2007.04.020

采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了制备条件对薄膜质量的影响.结果表明:当生长温度为810 ℃时,转速为300 r/min生长的外延膜具有较高的结晶质量,且随着生长时间的延长,外延膜的结晶质量有所提高.β-BBO薄膜呈c轴高度择优取向,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM仅为676.6″,表明β-BBO薄膜较好的结晶质量;在不具备相位匹配的条件下,β-BBO外延膜也能够实现二次谐波输出.

关键词: 无机非金属材料 , 液相外延 , β-BBO薄膜

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