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表面高分辨弹性反冲探测分析

路秀琴 , 符长波 , 郭继宇 , 赵葵 , 梁刚 , 李淑嫒 , 刘建成 , 姜华

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2000.04.009

在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了用Q3D磁谱仪动量分析和△E-E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术．用100 MeV127I对C/LiF多层样品的深度分布分析表明，表面分辨达到1.2 nm．所建立的△E(气体)-E(半导体)望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素．实测了新光电材料GaN，La2SrCuO4超导膜和新超硬材料C3N4(Si)等样品．

关键词: 弹性反冲探测 , 深度分辨 , Q3D谱仪