戚学贵
,
陈则韶
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.03.005
热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内, 衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数.本文根据传热学基本原理,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响,探讨了如何改善衬底温度均匀性.结果表明,考虑衬底横向热传导后,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布,在一定程度上有利于生长大面积薄膜.
关键词:
热丝法化学气相沉积
,
金刚石薄膜
,
辐照度
,
热传导
,
温度场文标识码:A
