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飞秒激光在材料微加工中的应用

贾威 , 王清月 , 傅星 , 胡小唐

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.010

本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理,并着重指出了其与长脉冲激光的区别.飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料,并且,加工精度极高,可进行亚微米尺寸的精密加工.通过分析飞秒激光材料微加工的特性,综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状.

关键词: 激光技术 , 飞秒激光 , 激光微加工 , 微结构改性 , 多光子吸收 , 光子晶体

激光微加工纳米孔Al2O3陶瓷膜的方法及分析

施云波 , 郭建英 , 张洪泉 , 时强

稀有金属材料与工程

针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法.阐述了激光微加工的原理.通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲.论述了纳米孔Al2O3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al2O3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象.分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右.电流应控制在10~20A.

关键词: 激光微加工 , 纳米孔陶瓷膜 , 声光调Q频率

激光微加工对陶瓷表面化学镀铜的影响研究

沈艺程 , 续振林 , 辜志俊 , 姚元根

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.04.006

采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射能谱仪(XRD)等手段比较激光微加工处理前后陶瓷表面形貌发生的变化,探讨了激光微处理在陶瓷表面无敏化活化化学镀铜工艺中的作用.结果表明,陶瓷基底经激光处理后,其表面成分并未发生改变,但其表面活性增强,从而促进了化学镀铜反应的进行.

关键词: 化学镀铜 , 陶瓷 , 激光微加工

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