刘旸
,
张国同
,
崔新军
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.05.019
目的：提高真空镀膜机镀膜时薄膜的抗激光能力，研究镀膜机箱体内本底真空度和残余气体对激光薄膜光学性能的影响程度。方法借用一台较高配置的真空镀膜机，为了方便定性和定量的研究，可预先有针对性地设定不同的本底真空度，同时配合不同的残余气体等各种情况，来制备激光薄膜。通过对各种激光薄膜的检测，分别研究不同的设定条件对制备激光薄膜的具体影响。结果油汽在分压强1.6×10-3 Pa时对激光薄膜的抗激光损伤阀值最高；水汽的分压强越大，对激光薄膜的抗激光损伤阀值最小；当氧汽分压达到1.5×10-2 Pa时，抗激光损伤阀值开始急剧变小；在压强小于2.0×10-4 Pa的范围内，薄膜的抗激光损伤阀值随本底真空度的增大而增大；压强大于5.0×10-5 Pa时，薄膜的抗激光损伤阀值逐渐减小。结论提高真空设备的本底真空度，降低真空系统中残余气体的数量、成分及含量，尤其是H2 O和O2是提高激光薄膜光学性能关键。
关键词:
激光薄膜
,
本底真空度
,
抗激光阀值
,
真空设备
