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驱动电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造技术

杨澍 , 荆海 , 廖燕平 , 马仙梅 , 孔祥建 , 黄霞 , 付国柱 , 马凯

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.02.012

基于电子墨水技术的电子纸是目前最有竞争力的类纸媒显示器.实现电子墨水电子纸的柔性是这项显示技术的关键之一.文章分析了当前电子墨水电子纸的主要研究方向,详细介绍了基于金属柔性基板的TFT制造技术、基于固定塑料基板的以激光释放塑基电子工艺(EPLaR)为代表的TFT制造技术、以激光退火表面释放技术(SUFTLA)为代表的TFT转移技术以及有机薄膜晶体管(OTFT)技术等4项柔性TFT背板的主要实现方法.对比了它们的材料选取,工艺特点和器件性能,分析了各项柔性TFT背板工艺的优缺点,提出了改进方向.

关键词: 电子纸 , 电子墨水 , 薄膜晶体管 , 柔性金属基板 , 激光释放塑基电子技术 , 激光退火表面释放技术 , 有机薄膜晶体管

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