郭建
,
金基用
,
林承武
,
明星
,
周伟峰
,
李斗熙
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.03.014
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析.文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析.给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明.
关键词:
半色调掩膜
,
灰色调掩膜
,
薄膜晶体管液晶显示器
,
曝光
,
衍射
