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乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为

梁广 , 高文桂 , 刘伟平 , 普绍平 , 闫革新 , 侯英

稀有金属材料与工程

采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为.通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气.

关键词: 化学气相沉积 , 乙酰丙酮钯 , 热分解行为