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顾毓沁 , 晋宏师 , 孙晓毅 , 陈皓明 , 谢志刚
工程热物理学报
随着高新技术的迅速发展，许多研究对象已进入亚微米和纳米范畴。在对这些对象的热性能和热可靠性的研究中，亚微米尺度的热物性测量已成为关键技术之一。例如：在微电子、微电子机械系统(MEMS)领域中，已使用纳米量级厚度的材质和做出纳米尺度线宽的器件。在材料科学、生物学、医学和化学等许多领域，高空间分辨率下的热物性测量也具有重要意义。
关键词: 扫描热显微镜 , 热探针 , 热导率
