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燃烧化学沉积纳米α-Al2O3薄膜的相变动力学试验研究

张增志 , 王博涛

功能材料

根据燃烧化学沉积法的相变动力学特点,以反应物密度的变化为相变动力学变量,建立了燃烧化学沉积法的相变动力学模型,按照完全燃烧、雾化剂不过量和雾化效果良好的原则,通过初始液体雾化研究和相变动力学实验获得了实现良好雾化效果的实验参数,制备了均匀致密的α-Al2O3纳米陶瓷薄膜,并运用SEM和TEM等分析了α-Al2O3纳米陶瓷薄膜的显微形貌和结构.

关键词: 燃烧化学沉积 , 纳米陶瓷薄膜 , α-Al2O3薄膜 , 相变动力学

利用异醇铝溶液的燃烧化学沉积纳米α-Al2O3膜

张增志 , 许海凤 , 韩桂泉 , 张利梅

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2005.04.022

提出了直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜的新方法--燃烧化学沉积法.以沉积α-Al2O3为例,通过完全燃烧计算、初始液体雾化试验和燃烧温度及质量密度试验,确定了燃气、易燃溶剂种类及雾化喷口尺寸和压力.用该参数在Ni-Al合金上沉积出纳米α-Al2O3薄膜,并用二次加热法进行了晶化处理.研究表明:用上述方法能够成功地制备完整的纳米α-Al2O3薄膜.

关键词: α-Al2O3纳米薄膜 , 异醇铝溶液 , 雾化 , 燃烧化学沉积

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