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衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响

张贵锋 , 郑修麟

材料研究学报

用燃烧火焰法在TC4 Ti 合金和单晶Si(001)面上沉积了金刚石薄膜。对合成的膜进行了扫描电镜、激光喇曼光谱分析。结果表明,金刚石薄膜的结构和形貌强烈取决于沉积温度、O_2/C_2H_2流量比等工艺参数。研究了衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响,并对表面预处理影响形核的原因进行了初步探讨。

关键词: 燃烧火焰法 , diamond film , surface pretreatment , nucleation density