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常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究

王金斌 , 张灿云 , 钟向丽 , 杨国伟

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.05.003

由于氮化硼特别是立方氮化硼(c-BN)的独特性质和广泛的应用前景,一直受到材料研究工作者的广泛关注.本研究利用脉冲激光在室温下沉积出立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外光谱和X射线衍射分析表明在所制备的氮化硼薄膜中,立方相的含量很高;同时,该研究还观察到了氮化硼的另一种高压相-爆炸结构氮化硼(Explosive-BN,E-BN).本研究同时还讨论了氮化硼薄膜生长的原理.

关键词: 脉冲激光沉积 , 室温 , 立方氮化硼 , 爆炸结构氮化硼

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