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多孔TiO2薄膜的制备研究进展

王达 , 刘建敏 , 周曦亚

材料导报

综述了液相法(包括溶胶-凝胶法、蒸发诱导自组装法等)、电化学法(包括阳极氧化法、微弧氧化法等)、物理气相法(包括磁控溅射法、电子束蒸发法等)、化学气相法等制备多孔TiO<,2>薄膜的方法,介绍了相应的合成原理,指出不同方法制备的多孔TiO<,2>薄膜在表面形貌、孔径尺寸、取向和孔壁厚度等方面存在很大差异.通过对比不同制备方法的优缺点并结合工业化生产成本,提出了今后多孔TiO<,2>薄膜制备技术的发展方向,并展望了多孔TiO<,2>薄膜广阔的应用前景.

关键词: 多孔TiO2薄膜 , 液相法 , 物理气相法 , 电化学法

多孔TiO2薄膜的制备研究进展

王达 , 刘建敏 , 周曦亚

材料导报

综述了液相法(包括溶胶凝胶法、蒸发诱导自组装法等)、电化学法(包括阳极氧化法、微弧氧化法等)、物理气相法(包括磁控溅射法、电子束蒸发法等)、化学气相法等制备多孔TiO2薄膜的方法,介绍了相应的合成原理,指出不同方法制备的多孔TiO2薄膜在表面形貌、孔径尺寸、取向和孔壁厚度等方面存在很大差异.通过对比不同制备方法的优缺点并结合工业化生产成本,提出了今后多孔TiO2薄膜制备技术的发展方向,并展望了多孔TiO2薄膜广阔的应用前景.

关键词: 多孔TiO2薄膜 , 液相法 , 物理气相法 , 电化学法

氮化铝晶须的形态与生长条件的关系

鲁枫 , 郑瑞生 , 刘文 , 敬守勇 , 武红磊 , 孙秀明

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.040

实验以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气气氛下用物理气相法在密闭式和半开式钨坩锅内高温生长出氮化铝晶须;并对氮化铝晶须的结晶形态与生长条件的关系进行了分析和探讨.

关键词: 氮化铝 , 晶须 , 物理气相法

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