胡明媚
,
朱丽慧
,
倪旺阳
,
刘一雄
上海金属
doi:10.3969/j.issn.1001-7208.2012.03.005
主要采用常规X射线衍射法(XRD)和小角X射线衍射法对微米级厚度的Ti0.5Al0.5N涂层分别进行了物相检测、晶格常数计算和残余应力测定,并对测量结果进行了比较.结果表明:常规XRD法得到的图谱中基体信息强,而小角XRD法排除了基体衍射峰的干扰,更好地反映出TiAlN涂层信息；与常规XRD相比,小角XRD技术能显著降低晶格常数测量误差,有效测定TiAlN涂层的残余应力值.
关键词:
TiAlN涂层
,
小角X射线衍射
,
物相检测
,
晶格常数
,
残余应力
