吴碧艳
,
罗文嬗
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.015
机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS.鉴于镍及镍基合金具有高的沉积速率、可控的薄层应力、低的电阻和制备温度以及机械特性,本文研究了镍及镍基合金用于具有运动结构的纳/微EMS器件的可行性,重点研究了基于镍的CMP工艺,其电化学势的变化用电动势极化曲线进行了分析,镍膜层表面用XPS和SEM进行了分析,结果表明:镍的刻蚀速率随着双氧水和缓蚀剂EDTA浓度中加而增加,在双氧水浓度在1%左右时达到最大.其刻蚀过程的动态和静态的电动势极化曲线具有明显不同,XPS分析表明:无双氧水的刻蚀液薄膜表面主要是形成NiO,存在H2O2的刻蚀液薄膜表面主要是形成Ni(OH)2,表面的镍所处的电化学状态是影响刻蚀行为的主要原因.
关键词:
机械化学抛光
,
纳/微机械
,
镍
,
电动势
阎一功
,
杜元龙
,
肖恺
腐蚀科学与防护技术
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2003.06.014
利用热力学方法,讨论了温度、隔膜材料对原子氢传感器电池体系电动势、内电阻的影响,构建了传感器电池体系静态数学模型.在此基础上,给出了利用试验求解电动势、内电阻温度系数的方法,并通过试验分析了三种隔膜材料在280K～360K范围内对电池体系传输特性的影响.
关键词:
原子氢传感器
,
电池体系
,
电动势
,
内电阻
,
温度
王琴萍
,
吕殿祯
,
孙雪丽
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2003.02.011
在恒定溶液总离子强度I＝1.00 mol/kg,改变甘油在混合溶剂中的质量分数为5、15和20的条件下,测定了无液体接界电池(A)和电池(B)的电动势.Pt,H2 (105 Pa)│HCl(c),C3H8O3(w),H2O(1-w)│AgCl-Ag(A)Pt,H2 (105 Pa)│HCl(cA),NaCl(cB),C3H8O3(w),H2O(1-w)│AgCl-Ag(B)根据测得电池 (A)的电动势,确定混合溶剂中Ag-AgCl电极的标准电极电势,讨论了HCl 的迁移性质. 利用测得电池(B)的电动势,计算了混合溶液中HCl 的活度系数γA. 结果表明, 在溶液中总离子强度保持恒定为I＝1.000 mol/kg时,HCl的活度系数服从Harned规则. 在溶液组成恒定时,log γA对热力学温度的倒数1/T作图,是一条直线. 进一步讨论了混合物中HCl的相对偏摩尔焓和介质效应.
关键词:
活度系数
,
电动势
,
电极电势
,
HCl
,
无液接电池
宁爱民
,
党玉丽
,
赵士举
,
宛新生
,
郑先福
应用化学
doi:10.3724/SP.J.1095.2011.00534
利用自制的季铵盐Gemini表面活性剂二溴化-N、N′-二(二甲基十二烷基)丙二铵(C<,12>-3-C<,12>·2Br)离子选择电极,通过电动势(EMF)法研究了C<,12>-3-C<,12>·2Br与牛血清白蛋白(BSA)之间的相互作用,得到了C<,12>-3-C<,12>·2Br在BSA大分子上结合过程的结合等温线和对应的Scatehard曲线,并通过结合能力的概念得到了结合过程的结合位点数、Hill系数及Hill结合常数.通过研究发现,C<,12>-3-C<,12>·2Br与BSA大分子的结合具有正的协同作用,相互结合的位点可以分为两类,第一类为主要通过静电作用结合的强结合位点,第二类为主要通过疏水作用结合的弱结合位点.
关键词:
季铵盐Gemini表面活性剂
,
电动势
,
牛血清白蛋白
,
结合等温线
,
结合能力
