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一种制备金属有机电双稳薄膜的新方法

蒋益明 , 郭峰 , 谢亨博 , 李劲 , 华中一

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.014

提出了一种真空蒸发和电化学反应相结合的技术来制备金属有机络合物电双稳薄膜的新方 法.利用该方法制备的 Ag- TCNQ薄膜具有均匀的电双稳特性,其跃迁阈值电压 4.5V,跃迁时间 小于 20ns.同时该方法还兼顾了真空反应蒸发方法表面平整度高和化学溶液法化学配比严格的 优点.因而该方法在微电子器件、分子电子器件和海量存贮器的制备中有着广泛的应用前景.

关键词: 电双稳薄膜 , 真空蒸发 , 电化学反应 , Ag- TCNQ