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正交实验法优选电沉积Co-Pt-W磁性薄膜制备工艺

吴琼 , 卫国英 , 葛洪良 , 王新燕 , 周巧英

功能材料

利用正交设计L25(56)安排实验,分别以矫顽力和磁滞回线的方形度为考察指标,通过极差分析和方差分析优化Co-Pt-W磁性薄膜电沉积制备工艺,结合工业生产的实际需求,得到Na2WO4·2H2O及(NH4)2C6H6O7浓度分别为0.08L、0.198mol/L,电流密度为5mA/cm2,温度为60℃的制备条件为最佳组合.在此条件下制备了Co-Pt-W薄膜样品,并对其磁性能进行验证,对结构和形貌进行了测量.结果表明hcp结构有利于电沉积Co-Pt-W薄膜的硬磁性能.

关键词: 正交实验设计 , 电沉积薄膜 , 硬磁性

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