刘光诒
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夏善红
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吕永积
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陈绍凤
,
李宏彦
,
罗运良
,
王建英
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.04.007
提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管, 与国际上传统的真空荧光光源管比较, 新的器件在大面积碳场发射阴极, 厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的. 从真空荧光光源管内的工作原理出发, 分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程, 详细介绍了研制VFLS管的制造工艺, 并讨论了此工作目前存在的问题及前景.
关键词:
真空微电子学
,
真空荧光光源
,
全玻璃平板型
