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钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能

林松盛 , 周克崧 , 代明江 , 石倩 , 胡芳 , 侯惠君 , 韦春贝 , 刘建武

材料工程 doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000612

采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜.用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能.结果表明:所制备Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜厚度约为5.8μm,维氏显微硬度为28.10GPa,膜基结合力为56N;TC11钛合金表面镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10-13m3·N-1·m-1降低到3.03×10-14m3·N-1·m-1;多层膜软硬层交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹扩展至金属软层时应力的缓冲而出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用.

关键词: Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜 , 钛合金 , 冲蚀 , 真空阴极电弧沉积

真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究

付志强 , 蔡育平 , 袁镇海 , 林松盛

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.08.008

为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.

关键词: 真空阴极电弧沉积 , (Ti,Al)N涂层 , 涂层刀具

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