段兴凯
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江跃珍
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宗崇文
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侯文龙
材料科学与工程学报
采用瞬间蒸发技术在温度为473 K的玻璃基体上沉积了厚度为800 nm的N型Bi2Te2.7Se0.3热电薄膜,并在373 K～573 K进行1小时的真空退火处理。利用X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）和能量散射谱（EDS）分别对薄膜的物相结构、表面形貌以及化学计量比进行表征。采用表面粗糙度测量仪测定薄膜厚度,薄膜的电阻率采用四探针法在室温下进行测量,在室温下对薄膜的Seebeck系数进行表征。霍尔系数,电子浓度和迁移率在300 K用Van der Pauw方法进行测量。退火温度为473 K时,电阻率和Seebeck系数分别为2.7 mΩ.cm和？180μV/K,热电功率因子最大值为12μW/cmK2。
关键词:
退火温度
,
热电薄膜
,
热电性能
,
瞬间蒸发法
段兴凯
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江跃珍
材料科学与工程学报
采用瞬间蒸发技术沉积了N型Bi2 Te2.85 Se015热电薄膜,沉积的薄膜厚度在50～400nm范围之间,并在473K进行1小时的真空退火处理.利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和能量散射谱(EDS)分别对薄膜的物相结构、表面形貌以及化学计量比进行表征.XRD分析结果显示,薄膜的主要衍射峰与Bi2 Te3和Bi2 Se3的标准衍射峰一致,沉积薄膜的最强衍射峰为(015),退火后,薄膜的最强衍射峰是(006).采用表面粗糙度测量仪测定薄膜厚度,薄膜的电阻率采用.四探针法在室温下进行测量,在室温下对薄膜的Seebeck系数进行表征.测试结果表明,薄膜为N型传导特性.并考察了薄膜厚度对电阻率及Seebeck系数的影响.
关键词:
Bi2Te2.85Se0.15
,
薄膜厚度
,
电阻率
,
Seebeck系数
,
瞬间蒸发法
