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石英块体表面制备氮化硅层的研究

徐卓 , 吴一 , 邹正光 , 龙飞 , 申玉芳 , 顾强

硅酸盐通报

高纯Si粉或Si3N4粉为反应原料,分别以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉为粘结剂,按不同质量百分比与PVA饱和溶液混合,分层涂抹在石英块体表面.在N2气氛中,于1500℃高温氮化烧结180 min,在石英块体表面制备氮化硅层.XRD与EDS图谱的分析结果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉为粘结剂,产物层物相为氮化硅或氧氮化硅,产物层致密且有一定厚度和强度,但是产物层和石英块体的结合性差;以自制玻璃粉为粘结剂的实验结果表明:产物层主要物相为氮化硅,产物层有一定厚度和强度,而且与石英块体的结合性较好.

关键词: 氮化硅 , 石英块体 , 氧氮化硅 , 结合性

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