吴昊
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张桂香
电镀与涂饰
分别以46#机械油和煤油对440c不锈钢表面进行磁力研磨。通过正交试验对研磨加工的工艺参数进行优化，从表面粗糙度、基体质量损耗、三维表面形貌等方面对比研究了上述2种研磨液对不锈钢表面光整效果的影响。结果表明，以机械油为研磨液时的光整效果更好，磁力研磨的最佳工艺条件为：主轴转速2500 r/min，加工间隙1.8 mm，进给速率60 mm/min，磨料填充量2.0 g。在最佳工艺条件下研磨后，工件的表面粗糙度由0.381μm降至0.032μm，大量毛刺和划痕得以去除，镜面效果良好。
关键词:
不锈钢
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磁力研磨
,
研磨液
,
表面形貌
,
粗糙度
王庆仓
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张晓东
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苏建修
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祝伟彪
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郗秦阳
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朱鑫
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裴圣华
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.04.025
目的：提高SiC单晶片的材料去除率,改善加工后的表面质量。方法进行研磨液试验,利用极差法得到研磨液的最优配比和研磨液成分中影响去除率的主次因素顺序；对主要影响因素进行单因素试验并考察对材料去除率的影响。结果研磨液的质量为50 g,最优配方为：助研剂、分散剂、增稠剂、润滑剂、磨料A、磨料B的质量分别为9,7,5,3,3,5 g,其余为调和剂,磨料A和磨料B的粒度均为W28。结论影响材料去除率的主要因素为磨料粒度,粒度越大,材料去除率越高。
关键词:
化学机械研磨
,
研磨液
,
碳化硅单晶片
,
材料去除率
,
表面质量
