杨铭杰
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刘伟
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孙家林
金属功能材料
本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片.分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列.该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造.
关键词:
TiO2纳米管阵列
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阳极氧化法
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硅基底
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磁控溅射
刘意春
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张家敏
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严继康
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杜景红
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甘国友
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易健宏
稀有金属材料与工程
在n-型Si片(100)面上直接电沉积Fe-Ni合金薄膜,并对电沉积过程特征及薄膜的结构和性能进行了研究.当阴极电流密度高于1.0 A/dm2时,可获得连续致密的合金薄膜,且电沉积表现为异常共沉积过程.在1.0～4.0 A/dm2范围内改变电流密度可调控合金薄膜的Ni质量分数从45％到78％之间改变,对应的电流效率在60％到66％之间变动.从XRD和TEM结果来看,合金薄膜由尺寸为10～30nm的纳米晶粒组成,且表现为Fe-Ni面心立方固溶体结构.合金薄膜的磁滞回线表现出较高的饱和磁化强度和接近于零的矫顽力,表明该种纳米合金薄膜具有很好的软磁性能.
关键词:
Fe-Ni合金薄膜
,
电沉积
,
硅基底
,
磁性能
李小娇
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郝春成
材料导报
采用微波加热法,在单晶硅基底上生长了铜纳米粒子,并以铜纳米粒子为催化剂,乙炔为碳源,氢气为保护气,在管式炉中制备了碳纤维.利用高视频显微仪观察单晶硅片的预处理情况,采用扫描电子显微镜(SEM)观察硅基底上铜纳米粒子的生长情况和碳纤维的形貌特征,并利用能量色散谱仪(EDS)对铜纳米粒子进行成分及元素分布分析.研究表明,采用抛光-腐蚀的硅片预处理方法,可以更高效地得到具有取向性、长径比大的碳纤维.
关键词:
碳纤维
,
铜纳米粒子
,
微波加热
,
硅基底
张君慧
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郭丽芳
,
赵清华
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张文栋
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李大维
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李刚
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孙伟
稀有金属材料与工程
采用低浓度的无机溶剂HF溶液(0.05％,质量分数)对溅射在硅基底上的400 nm钛薄膜进行阳极氧化制备TiO2纳米管阵列,并利用SEM对制备出的TiO2纳米管阵列进行表征.实验结果表明,通过优化阳极氧化电压幅值、电压施加方式和氧化时间,均可有效控制纳米管阵列的尺寸和形貌.首先施加0.5V的低电压28 min,在低浓度的HF溶液中阳极氧化钛薄膜制备TiO2纳米管阵列,其管径可达120 nm左右.在此基础上,对电压施加方式进行改进,提出两步法施加电压方式,并优化氧化时间,在硅基底钛薄膜上制备出管径为100 ～ 270 nm结构紧密有序的TiO2纳米管阵列,明显优于钛薄膜在有机电解液中氧化制备的管径为70～100 nm的TiO2纳米管阵列.
关键词:
硅基底
,
阳极氧化
,
TiO2纳米管阵列
刘长友
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王金芳
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孙晓燕
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介万奇
功能材料
采用真空蒸镀法在Si（100）基底上制备了六角片状Zn微晶薄膜，并由N2H4·H2O-水热体系制备了Si基片状ZnO微晶薄膜。XRD、SEM及EDS测试与分析结果表明，纤锌矿结构片状Zn0微晶长度约1μm、厚度约100nm，几乎垂直于Si基面，且在基面上随机组合成连续薄膜。联系室温Si基Zn微晶薄膜氧化物形貌，以“氢氧化锌脱水”反应解释了Si基片状ZnO微晶薄膜的生长机制。光致发光谱测试分析表明，ZnO微晶薄膜有强的近带边紫外光发射和弱的缺陷发射。
关键词:
ZnO
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硅基底
,
生长机理
