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王敬 , 屠海令 , 刘安生 , 周旗钢 , 朱悟新 , 张椿
稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.04.008
用横断面透射电子显微术 (TEM) 研究了用键合方法获得的SOI材料的界面结构.绝缘层二氧化硅和硅膜的厚度非常均匀, Si膜/SiO2以及SiO2/Si基体的界面平直且结合紧密,在界面上没有观察到缺陷和孔洞.
关键词: 硅片键合 , SOI , 界面 , 微结构
王敬 , 屠海令 , 刘安生 , 张椿 , 周旗钢 , 朱悟新
稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.05.013
介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.
关键词: 硅片 , 硅片键合 , 直接键合
