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外加氩气流下脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒成核生长动力学研究

邓泽超 , 王世俊 , 丁学成 , 褚立志 , 梁伟华 , 赵亚军 , 陈金忠 , 傅广生 , 王英龙

人工晶体学报

为研究纳米硅晶粒成核生长动力学过程,采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,在室温,50~200 Pa的氩气氛围中,通过引入垂直于烧蚀羽辉轴线的外加气流,在水平放置的衬底上沉积了一系列纳米Si晶薄膜.扫描电子显微镜( SEM)、拉曼(Raman)散射和X射线衍射(XRD)检测结果表明,未引入气流时,衬底上相同位置处晶粒尺寸随气体压强的增大逐渐减小;在距靶1 ~2cm范围内引入气流后,尺寸变化规律与未引入气流时相反.通过分析晶粒尺寸及其在衬底上的位置分布特点,结合流体力学模型和热动力学方程,分析得出在激光能量密度一定的条件下,环境气体压强、烧蚀粒子温度和密度共同影响着纳米晶粒的成核生长.

关键词: 脉冲激光烧蚀 , 硅纳米晶粒 , 外加气流 , 成核生长动力学

硅纳米晶粒的发光特性及其应用

袁媛 , 唐元洪 , 林良武

硅酸盐通报

硅纳米晶粒具有独特的光致发光(PL)和电致发光(EL)特性,在纳米光电子器件中具有巨大的潜在应用价值.通过近年来硅纳米晶粒的研究成果,总结了影响硅纳米晶粒发光特性的各种因素和各种条件下的发光机制,并综合评述了硅纳米晶粒在发光二极管、激光器等纳米发光器件及荧光粉等方面的应用,指出了未来硅纳米晶粒的研究方向.

关键词: 硅纳米晶粒 , 发光特性 , 发光机制 , 发光应用

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